前工程 熱酸化とは?シリコンを「焼いて」絶縁膜を作る半導体プロセスを図解
半導体の熱酸化を初心者向けに解説。SiO2ゲート酸化膜の作り方、ドライ酸化とウェット酸化の違い、KOKUSAI ELECTRICが強い縦型炉の世界を、図解と料理のたとえでわかりやすく整理。
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半導体プロセス