前工程 【完全図解】高アスペクト比エッチングとは?3D NANDとDRAMの「細く深い穴」を掘る技術
高アスペクト比エッチングとは、幅に比べてとても深い穴や溝を、まっすぐ掘るエッチングです。3D NANDやDRAMで必要な理由、深くなるほど起きる4つの問題、極低温エッチングなどの対策、装置メーカーまで図解で整理します。
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