前工程 【完全図解】エピタキシャル成長とは?半導体の「もう1層」を解説
エピタキシャル成長(エピ成長)とは何か、なぜCZ結晶だけでは足りないのか、ホモエピとヘテロエピの違いを図解で解説。Applied Materials・ASMIなど装置メーカーの寡占構造、SiC・GaN時代に重要性が増す理由まで、構造で理解できる入門記事。
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