ドーピング・熱処理

イオン注入とは、不純物をイオンにして電気で加速し、ウェーハの狙った場所と深さに打ち込む前工程です。装置の中身、エネルギーとドーズ量、3種類の装置、結晶の傷とアニール、SiC向けの加熱注入、装置メーカーまで図解で整理します。