前工程 レチクル・フォトマスクとは?違いと構造、ペリクルを図解|日本企業が寡占する半導体の「型紙」
フォトマスク・レチクル(レティクル)とは、半導体の回路パターンを描いた「型紙」で、露光装置で光を通してウェーハに回路を写します。フォトマスクとレチクルの違い、EUVマスクの構造、ペリクル、日本企業が世界シェアで寡占する理由を図解します。
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